廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵修理 分子泵養護
半導體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復雜,需要在高純度硅片上執行一系列精密的物理或者化學(xué)操作,例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。這些復雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行,而且對真空系統和真空設備的潔凈度也有著(zhù)很高的要求。分子泵養護
羅茨真空泵在石油、化工、塑料、nong藥、汽輪機轉子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(cháng)期運行的考驗,所以應該在國內大力推廣和應用。同時(shí)也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消*器,用于真空泵的噪聲治理。分子泵養護
轉子的內部冷卻:為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作,可采取更有效的冷卻方法,即將轉子用循環(huán)油冷卻,在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入,經(jīng)轉子內壁再從另一端排出。冷卻油除冷卻轉子外,還潤滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好,泵在運轉時(shí)轉子溫度低于外殼溫度,大泵常采用這種方式。 分子泵維修,例如在80Torr壓差下工作時(shí),羅茨真空泵轉子溫度較外殼低78度,同時(shí)還發(fā)現泵負荷越重時(shí),則間隙越大,這是因為轉子用油冷卻,溫度比殼體低,負荷越大,殼體膨脹越厲害,軸間距加大,所以間隙會(huì )增大。
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵修理 分子泵養護
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵修理 分子泵升級改造
旋片泵為雙級結構,是由高壓級與低壓級二部分組成,它的吸入口與真空容器或真空設備連接,在運轉時(shí)容器內的氣體將大量吸入與排出。當設備獲得真空時(shí),高壓級排氣閥片將封閉,高壓級吸入的氣體將轉送到第二級,并經(jīng)第二級吸入與排出,這樣真空設備可獲得一定的真空。根據用戶(hù)使用情況,可配備真空增壓泵,將該泵做為前級泵,由于增壓泵的抽氣力加強,前級泵連續抽除,能使設備獲得更高的真空。分子泵升級改造
真空泵抽不出液體
1.沒(méi)有灌注液體。解決方案:重新灌真空泵。
2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解決方案:消除雜物
3.吸入管或真空泵內沒(méi)有排凈氣體。解決方案:檢修吸入管路并排凈氣體
4.吸上高度超過(guò)允許范圍。解決方案:按允許吸上高度重新按裝真空泵
5.壓出管路太細,管路損失太大。解決方案:換適合的壓出管路
6.使用揚程超過(guò)了設計揚程。解決方案:重新選真空泵
7.輸送熱的、揮發(fā)性的介質(zhì)。解決方案:降低吸程或采用倒灌按裝。
8.轉向反了。解決方案:糾正轉向
壓縮比 渦輪分子泵的壓縮比是指前級管道(排氣口處)的壓力與進(jìn)氣口處的壓力之比。由于被抽氣體的分子量不同,泵對各種氣體的壓縮比也不同。 泵對氫的壓縮比很小,一般為1000左右,這樣一來(lái)如果前級管道中氫的壓力為110-7Torr(13.33Pa),那么進(jìn)氣口處氫的壓力則小1000倍,即為110-10Torr(13.33nPa)。由于氫是超高真空系統中主要的殘余氣體,所以氫的壓縮比是決定渦輪分子泵的極限壓力的關(guān)鍵因素。分子泵升級改造
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵修理 分子泵升級改造
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵修理 進(jìn)口泵維修
在低溫下,軸承潤滑劑具有很高的粘度(低潤滑作用),可能導致軸承潤滑不良和分子泵啟動(dòng)電流過(guò)大。即使泵看起來(lái)啟動(dòng)正常,也可能會(huì )對軸承造成一定的損傷,長(cháng)期來(lái)看,這將影響泵的可靠性。安捷倫分子泵允許的正常工作溫度范圍是 5-35 攝氏度,在環(huán)境溫度低于 5 攝氏度時(shí),需要采取一定的加溫措施。
避免真空泵溫度過(guò)高:較為非常容易了解這一點(diǎn),半導體材料在真空泵的運用中,有害物質(zhì)比較多,而不論是干試真空泵還是骨架密封機械泵,泵腔內溫度過(guò)高,高溫下物品及有害氣體便會(huì )非常容易產(chǎn)生風(fēng)險。 進(jìn)口泵維修
應小心防止固體物質(zhì)(金屬碎片、玻璃碎片等)。)不會(huì )掉入真空泵并擦傷真空泵的運動(dòng)部件。當真空泵長(cháng)時(shí)間停機時(shí),應將其存放在干燥清潔的環(huán)境中,并堵住吸入口和排出口,以防灰塵落入。
真空泵選型前,先來(lái)弄清楚幾個(gè)基礎概念: 真空 現實(shí)中是不存在真正的真空的,通常我們把容器內氣壓低于正常大氣壓(101325 Pa)的狀態(tài)都稱(chēng)之為真空狀態(tài)。進(jìn)口泵維修
容積式真空泵
容積式真空泵適用于低真空的泵速較慢的場(chǎng)合,主要用來(lái)創(chuàng )建中等至低真空環(huán)境。容積式真空泵使用氣體壓縮作為原理,通過(guò)泵出氣體并將其壓縮進(jìn)入泵房,從而實(shí)現真空抽取。
廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵修理 進(jìn)口泵維修